请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/08 19:37:37
请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?

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PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体辅助化学气相沉积
我们公司就是做这个的.