作业帮听说半导体行业能用到气体减压器,是半导体行业的哪些设备或者产品要用到呢?设备名称是什么?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/07 08:16:39
听说半导体行业能用到气体减压器,是半导体行业的哪些设备或者产品要用到呢?设备名称是什么?
听说半导体行业能用到气体减压器,是半导体行业的哪些设备或者产品要用到呢?设备名称是什么?
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半导体制程的每一步基本都要用到气体,气体在进入机台前都要经过减压,而且一个机台几路甚至是十几路气体.
往前端,从气源到机台这一部分,叫hook up,二次配管,里面也有很多.
再往前,特气有气柜,气柜里有减压器.大宗气体有气站,气站上也有.
不过,这些减压器,全是进口的,国产没戏,完全不能用.既然你管它叫减压器,想必是国产的才会这么称呼吧.
听说半导体行业能用到气体减压器,是半导体行业的哪些设备或者产品要用到呢?设备名称是什么?
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